Die Einhaltung eines genau definierten Temperaturfeldes bei der Wärmebehandlung in der Waferfertigung ist ein entscheidendes Kriterium zur Prozessbeherrschung und -stabilisierung. Die exakte Kenntnis über die Temperaturverhältnisse im Ofenraum und die Möglichkeiten der Steuerung des Prozesses wirkt sich entscheidend auf die Qualität der Produkte aus. Ein exaktes Messsystem für die Bestimmung des Temperaturfeldes ist unerlässlich.  

Für Hochtemperaturmessung im Solarbereich stehen keramische und Quarzglas-Thermoelemente in flexibler Lanzenausführung bzw. in gerader Ausführung mit mehreren Messstellen zur Verfügung.